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浅谈对多晶硅切削液的分析

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    晶硅切割液是以聚乙二醇为主体,添加多种助剂复配而成,具有适宜的粘度指标,有良好的流动性和热传导性,对碳化硅微粉具有良好的分散稳定性和悬浮作用。创新性的成功采用无规聚合方式生产,并采用防沉螯合类添加剂制成无水水溶性切割液,为国家首创,填补了国内空白,为我国光伏产业晶硅切割液实现了进口替代,并采用了自主创新的窄分布乙基氧化催化剂和独特性的乙氧基化循环系统及DCS 控制技术,生产出的切割液具有质量稳定、分子量分布窄和有效成分含量高等特点。

 

    废切削液中固体杂质会引起多晶硅水性切削液失效。国标及一些国外标准中均是针对由冶炼而来的碳化硅,对化学成分的要求主要包括碳化硅的最大含量、杂质游离硅、氧化铁、游离碳等其他金属氧化物的的含量要求等。而本课题中加工前的多晶硅水性切削液中的固相成分一碳化硅,已经满足加工要求,其化学组成己达到或接近标准,成份相对简单,根据失效分析,其杂质主要为多晶硅屑。根据原料的不同,因此有必要建立简单而准确的杂质分析方法。

 

    GB 3045-89标准[中规定了碳化硅磨料中的二氧化硅、游离硅、游离碳、总碳、碳化硅、三氧化二铁的测定方法。SN-T 0355-1995 标准中规定了切削液用于冶金脱氧剂和耐火材料的出口碳化硅含量分析方法,适用于出口中、低品位碳化硅的测定,磨料级碳化硅也可参照使用。E. Vereda AlonsoA., Garc'ia de Torres等人分别用40%的氢氧化钠溶液和氢氟酸、硝酸和硫酸的混酸对碳化硅的纯度进行了分析。比较了二者测定结果,作者建议测定切削液中Si和SiO:的总含量时,用40%NaOH溶液分析较好。

 

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